CME-RGA6500小分子在線質譜儀

CME-RGA6500小分子在線質譜儀(yi) 的主要應用方向，半導體(ti) 工業(ye) 、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器；CO₂還原，程序升溫脫附、化學化工、儲(chu) 能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產(chan) 氣、光催化水製氫燃料電池研究、發酵微生物呼吸氣體(ti) 監控、人呼吸監控、環境氣體(ti) 分析、地質分析、冶金過程、各種催化過程等等。

在線氣體(ti) 質譜儀(yi) 與(yu) TGA實現聯用，能夠快速地分析熱重測試過程中逸出氣體(ti) 產(chan) 物；在線質譜儀(yi) 可與(yu) 各種催化劑評價(jia) 裝置，反應釜，氣相色譜等連用，在線實時檢測過程中的氣體(ti) 組成及其含量；在線質譜儀(yi) 可以與(yu) 化學吸附儀(yi) 連用，對程序升溫過程中的逸出氣體(ti) 進行定性和定量分析。

CME-RGA6500優(you) 勢特點

1. 進樣管加熱，可達350℃

2. 易操作界麵，10英寸彩色觸摸屏，可全麵控製儀(yi) 器運行、采樣分析、顯示譜圖

3. 可烘烤真空室至180℃

4. 可定製版本，如特殊進氣係統、特殊外殼

5. 質量範圍標配1-200amu；可選1-100amu、、1-300amu

6. 軟電離選項(1-100eV)

7. 耗氣量低(1-2sccm)

8. 響應快(駐留時間最短1ms/amu)

CME-RGA 6500典型應用

組分分析

通過質量數判斷進樣氣體(ti) 組分，得到真空係統中的工業(ye) 氣體(ti) 的成分和相對濃度信息，分析真空係統的密封性、脫附行為(wei) 等，便於(yu) 用戶判斷真空室及真空組件的狀態，如下圖中質譜圖所示

過程檢測/檢漏

在設置的質量數範圍進行全掃描或選擇掃描，長時間對某幾類氣體(ti) 進行監控(含報警功能)以觀察真空腔體(ti) 內(nei) 氣體(ti) 組分濃度隨時間的變化，如下圖中時間趨勢圖所示

CME-RGA6500技術參數

1. 運行環境

1.1. 環境溫度：15-35℃；

1.2. 相對濕度：≤85%；

1.3. 適用電源：220V(±10%),50Hz(±2%)；

2. 小分子質譜儀(yi) 參數

2.1. 主要性能指標

2.1.1. ★質量範圍：1-200 amu；

2.1.2. 進樣管：石英毛細管/不鏽鋼毛細管；

2.1.3. ★毛細管溫度：≥350℃；

2.1.4. 腔體(ti) 加熱溫度：≥200℃；

2.1.5. 進樣管入口壓力：0.5-2.5atm；

2.1.6. 進樣管長度：1m/2m；

2.1.7. 靈敏度：2.5E-4A/Pa；

2.1.8. 最小可檢測分壓：1.25E-10Pa

2.1.9. 質量準確性：±0.10 amu；

2.1.10. ▲儀(yi) 器最小檢測限：≤100ppb；

2.1.11. 檢測範圍：100ppb-100%；

2.1.12. ▲駐留時間：1ms – 16s/amu；

2.1.13. ▲分辨率@10%峰值高度：0.5-2amu可調；

2.1.14. 掃描方式：全掃描、選擇離子監測；

2.1.15. 整機尺寸（長×寬×高）：655×358×318 mm；

2.1.16. ▲重量：29.3kg；

2.1.17. 接口：以太網LAN×1、USB×1；

2.2. 離子源

2.2.1. 離子源類型：開放式離子源；

2.2.2. 離子源配置：雙燈絲(si) 軟件切換；

2.2.3. 燈絲(si) 電流：1000μA；

2.2.4. 離子化能量：1-100eV；

2.2.5. 燈籠電壓：1-140V；

2.3. 質量分析器

2.3.1. ★質量分析器：配備預四極的高精度全金屬雙曲麵四極杆；

2.3.2. 四極杆尺寸：98.5*24.6*6 mm；

2.4. 檢測器

2.4.1. 法拉第杯和電子倍增器，對低濃度物質使用法拉第杯檢測器，高濃度使用電子倍增器測定；

2.5. 真空係統

2.5.1. 前級泵：無油隔膜泵，抽速≥0.6 m³/h；

2.5.2. ▲配置高性能渦輪分子泵，抽速≥67L/s；

3. 軟件工作站

3.1. ★質譜儀(yi) 全中文一體(ti) 化控製軟件工作站；

3.2. 實時監控：可設置監測離子物質，設置監測強度閾值，超過一定分壓即實時查看到超標物質並打開蜂鳴器；

3.3. 對質譜圖中不同質量數進行元素定性功能；

3.4. 化合物定量MCD采集功能：通過加載已知組分含量的標準氣體(ti) ，再新的樣品後可以得到對應化合物濃度。

4. 售後服務

4.1. 安裝、校準與(yu) 試運行:儀(yi) 器製造廠授權技術員在買(mai) 方用戶現場免費安裝調試，技術指標合格。

4.2. 培訓:提供技術服務，現場培訓內(nei) 容（包括儀(yi) 器基本原理、操作使用及日常保養(yang) 維修等），培訓工作直至技術人員能獨立操作為(wei) 止。

4.3. 質保與(yu) 維修:儀(yi) 器廠商提供1年的免費保修服務。

技術資料:提供儀(yi) 器設備的安裝、操作手冊(ce) 、維修保養(yang) 手冊(ce) 等技術文件，及產(chan) 品合格證、質量保證書(shu) 和產(chan) 品軟件等全套資料。