​激光驅動白光光源LDLS EQ-99X Energetiq

激光白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度，高穩定、長壽命寬光譜光源，使用高功率連續激光直接聚焦氙燈內(nei) 的氙離子加熱至非常高的的溫度，從(cong) 而發出高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命，紫外功率高等特點。其產(chan) 品具有很寬的光譜範圍，譜線包括深紫外線（DUV）, 並覆蓋從(cong) 可見光到近紅外光區（NIR），波長範圍從(cong) 170nm到2100nm 以上。

產(chan) 品特點：

1. 長壽命：10000小時7*24（10%衰減）；

2. 高亮度：普通氙燈30倍以上；

3. 全光譜：可取代氘燈，鹵素燈，氙燈；

4. 非常好的短期長期功率穩定性；

5. CW激光驅動等離子體(ti) 放電；

6. 寬光譜範圍 170-2100 nm（紫外-可見光-近紅外光譜）；

7. 極小發光點 約100μm。

產(chan) 品應用:

   主要應用於(yu) 紫外可見光譜，顯微照明,光學元件測量單色光源，膜厚、形貌測量，光纖/光學材料和器件測試，環境、化學、氣象監測、材料分析，缺陷檢測，光譜測量。

產(chan) 品參數：

激光驅動光源技術介紹

目前，我們(men) 在光譜學、測量等領域寬光譜光源主要集中與(yu) 鹵素燈，氙燈，具有低成本、寬光譜、產(chan) 量大等優(you) 點。但是壽命短，光斑點大，光譜不夠平滑，亮度不夠高等特點仍然在很多應用上有許多的限製。隨著全新的激光驅動白光光源LDLS技術的興(xing) 起，極大的提高了白光光源的應用範圍和實用能力。

激光驅動白光光源原理示意圖

LDLS首先通過氙燈的高壓電極點亮氙燈，高能量1μm連續激光經過聚焦後在氙燈上，然後關(guan) 閉氙燈高電壓，聚焦的激光維持高亮度等離子體(ti) 發光，對於(yu) EQ-99X和EQ-99XFC等離子體(ti) 光斑大小約70*140微米，易於(yu) 聚焦/耦合等光路處理。

產(chan) 品技術優(you) 勢：

1.寬光譜，高亮度：LDLS激光驅動白光光源具有很寬的光譜表現，從(cong) 深紫外-可見光-近紅外全覆蓋，在170-2100nm均有ji高的亮度表現

由下圖我們(men) 可以看出EQ-99光源亮度在紫外區域是75W氙燈的10倍，可見光區域也是數倍；對於(yu) 30W的氘燈亮度更是100倍以上。

2. 長壽命：LDLS激光驅動光源在工作10000小時後仍具有90%輸出功率，而氙燈下降到50%隻需要2000小時，氘燈隻需要1000小時，極大地節約換燈，中斷實驗/產(chan) 品線調試等運行成本，另外LDLS還也可以在24*7條件下持續工作。

3.光斑極小：下麵三幅分別為(wei) 氙燈，LDLS激光驅動白光光源的等離子發光體(ti) 圖。經過測試氙燈尺寸大於(yu) 2mm*2mm，EQ-77約為(wei) 150*300μm，EQ-99約為(wei) 70*145μm。極小的等離子體(ti) 光斑帶來非常高亮度。易於(yu) 聚焦於(yu) 光譜儀(yi) /分光儀(yi) ，光路搭建，在使用200μm以下狹縫時具有非常高的*性，進入的能量比普通光源能高達10-100倍；另外耦合於(yu) 光纖中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光，而普通氙燈鹵素燈幾乎很難耦合。

氙燈（左）和LDLS（右）等離子體(ti) 實物圖

4. 等離子體(ti) 位置/功率非常穩定：下圖為(wei) 等離子體(ti) 中心位置監測圖，在200Hz頻率下共2500個(ge) 監測點，平均縱向不穩定度為(wei) 0.094μm，橫向不穩定度為(wei) 0.145μm，具備了ji高的光斑位置穩定性，從(cong) 而保證了測量過程和結果的穩定性。1000個(ge) 積分時間為(wei) 8ms共8s強度測量，平均強度不穩定性為(wei) 0.25%，峰峰值不穩定性為(wei) 0.55%。

                                 等離子體(ti) 中心位置     

     強度不穩定性測量