近年來半導體(ti) 行業(ye) 的快速發展，超高純316L不鏽鋼，符合SEMI
F20標準，通過真空感應熔煉+真空自耗重熔（VIM+VAR），並使用特殊的工藝處理，對材料進行很大的提純，進一步減少了材料中的的非金屬夾雜物和氣體(ti) 成分。EP管（316L，VIM+VAR）是表麵經過電解拋光處理，以提高產(chan) 品內(nei) 部的平滑性，並在金屬表麵形成富鉻層以提高耐腐蝕性，電解拋光後的產(chan) 品做鈍化處理以去除遊離鐵離子。EP拋光產(chan) 品經
SEM、 ESCA/XPS、AES分析，產(chan) 品質量滿足半導體(ti) 協會(hui) SEMI F20 標準。
基於(yu) EP拋光（316L，VIM+VAR）技術的發展，中科微能采用國內(nei) ***企業(ye) 生產(chan) 的EP管（316L，VIM+VAR）和EP自動閥門，替換了光催化活性評價(jia) 係統的原有玻璃管路和閥門，並實現了PLC全麵控製整套係統，實現了CME-PCAE的全自動化運行。
CME-PCAE光催化活性評價(jia) 係統(Photocatalytic
activity evaluation
system)沿用半導體(ti) 行業(ye) 的真空技術，將玻璃管路和閥門替換為(wei) EP管和EP自動閥，實現了整個(ge) 係統的全自動控製實驗過程，全自動在線采樣分析，實現了實驗中真正的全自動運行。CME-PCAE主要應用於(yu) 光解水、全解水、電催化、光催化CO2還原、光催化固氮、光電催化氣體(ti) 產(chan) 物分析、耐壓釜式反應、催化反應的微量氣體(ti) 收集等。
產品優勢：
1)封閉反應的產(chan) 物氣體(ti) 收集、采樣、在線分析的一體(ti) 化係統；
2)內(nei) 置氣體(ti) 磁力增壓泵，形成高強壓差，實現氣體(ti) 快速混勻；
3)全係統耐壓-14.6psi~150psi，實現了從(cong) 真空到10atm的壓力覆蓋；
4)應用半導體(ti) 材料（TiO2、InO、C3N4、CdS等）催化劑的活性評價(jia) ；
5)催化劑產(chan) 氫、產(chan) 氧、光解水的性能分析；
6)催化劑二氧化碳還原的性能分析；
7)係統可配和玻璃、石英、不鏽鋼、PEEK、PTFE等材料製備的反應器使用；
8)可滿足光電反應、氣固反應、膜催化、多相反應等特殊實驗要求；
9)係統管閥件全部采用EP（316L，VIM+VAR）管和EP閥，對氣體(ti) 無吸附；
10)係統即裝即用，可兼容任意廠家氣相色譜儀(yi) ，無需額外增加進樣閥門；
11)GC測試範圍廣，氫、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、C1-C5等微量氣體(ti) 。
技術參數：
項目 | CME-PCAE-150 |
係統真空度 | -0.1MPa（-14.6psi） |
係統耐壓 | -14.6psi ~150psi |
管路材質 | EP電解拋管（316L，VIM+VAR）；體(ti) 積50ml±5 |
閥門 | EP隔膜閥 |
玻璃反應器 | 100ml（標配）、250ml、25ml、50ml；石英通光 |
選配 | 316L不鏽鋼反應器、石英或藍寶石通光 |
采樣方式 | 全自動采樣在線分析，可對接任意品牌色譜，GC無需加閥改裝 |
控製方式 | 全麵PLC數字化控製，10英寸觸摸屏,可以實現與(yu) GC、光源、真空泵等輔助設備對接控製。 |
真空泵 | 反控自動啟停，2L/s，含防倒吸電磁閥和單向隔膜閥，雙重保護係統 |
測試精度 | 0.01ml& 0.1s |
光源放置 | 光源可以根據需求置於(yu) 體(ti) 係前端或後端平台，易於(yu) 反應器的更換和光源的取放； |
測試範圍 | 氫、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、乙醛等微量氣體(ti) ，H2、O2 >0.001ml；CO、CO2、CH4>1ppm；CH3OH、HCOOH、CH3CH2OH、CH3COOH>10ppm； |
推薦配套設備 | 1) 氣相色譜： HF901（EPC+EPC），HF901A、島津、安捷倫(lun) 2) 光源：CME-X305氙燈光源 3) 光功率計：CME-OPM2000 |
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